Para abordar el problema de la disminución de la precisión de microposicionamiento durante el proceso de grabado en la máquina grabadora de redes planas debido a las características de histéresis no lineal del accionador piezoeléctrico, se propone un método combinado de compensación de error de control basado en un modelo segmentado de Prandtl-Ishlinskii (PI), mejorando la precisión y estabilidad del posicionamiento indexado de la red. Se diseñó un sistema de monitoreo y corrección de errores de microposicionamiento indexado de la red, mediante la construcción de un modelo PI segmentado para describir su comportamiento no lineal, utilizando el método de mínimos cuadrados para identificar las características de histéresis del actuador piezoeléctrico, y utilizando el modelo inverso como compensación en avance, combinado con un control de retroalimentación en lazo cerrado para formar una estrategia de control compuesta que implementa la corrección dinámica de errores. Los datos experimentales muestran que, en comparación con la ausencia de compensación adelantada del modelo inverso PI, el error de posicionamiento de la línea de grabado de la red se redujo de ±20 nm a menos de ±10 nm. Se garantiza la consistencia de las ranuras, aplicable a la corrección del error de posicionamiento indexado de grabado de la red, proporcionando soporte técnico confiable para la fabricación de redes de alta densidad. Las investigaciones futuras se centrarán en la integración y optimización de algoritmos inteligentes para mejorar aún más la precisión del posicionamiento, así como en la exploración de aplicaciones ampliadas de esta tecnología en redes curvas y grabados con espacio variable.

máquina grabadora de redes; sistema de microposicionamiento; precisión de posicionamiento; modelo P-I; piezoeléctrico