Medición de la deformación de la superficie mediante interferometría de difracción bidireccional con control de fase

QI Siyuan ,  

FANG Weidong ,  

LIU Yilong ,  

CHANG Qing ,  

GAO Shuai ,  

WANG Shengjia ,  

摘要

Se propone una tecnología de interferometría de difracción bidireccional basada en el control de fase para la medición de la deformación de la superficie

关键词

Medición de interferometría; Interferometría de difracción; Control de fase; Desplazamiento temporal; Medición de la deformación de la superficie

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