Para lograr un pulido de alta calidad de componentes ópticos de sulfuro de zinc, se llevó a cabo una modelación teórica e investigación experimental del pulido asistido por ultrasonido robotizado, construyendo un sistema teórico y tecnológico de pulido asistido por ultrasonido de alta precisión y eficiencia adecuado para el material sulfuro de zinc. Primero, se estableció un modelo de contacto entre el abrasivo y la pieza durante el proceso de pulido asistido por ultrasonido robotizado, analizando mediante cinemática la trayectoria tridimensional de las partículas abrasivas bajo la vibración ultrasónica; en segundo lugar, basándose en la teoría de remoción de material de Preston, se introdujeron componentes de presión dinámica y velocidad relativa generadas por la vibración ultrasónica, corrigiendo la función de remoción de material y construyendo un modelo de remoción para el material de sulfuro de zinc que considera el efecto de la vibración de alta frecuencia; luego, se realizaron experimentos de pulido asistido por ultrasonido en puntos fijos, revelando las leyes de influencia de la presión preliminar de pulido y la velocidad del husillo en la profundidad de remoción de material (Material Removal Depth, MRD) y la tasa de remoción de material (Material Removal Rate, MRR), validando la precisión de la función de remoción corregida con datos experimentales; finalmente, basándose en la función de remoción corregida y los parámetros optimizados del proceso de pulido, se llevaron a cabo experimentos comparativos de pulido planar asistido y no asistido por ultrasonido en sulfuro de zinc, empleando un interferómetro de luz blanca y un perfilómetro para el análisis cuantitativo de la precisión de la forma y la rugosidad superficial antes y después del pulido. Los resultados muestran que bajo pulido asistido por ultrasonido robotizado, los valores de precisión de forma de superficie PV y rugosidad superficial Sa son menores que los del pulido robotizado sin ultrasonido. Bajo la acción del ultrasonido, el valor de rugosidad superficial Sa disminuyó de 2.632 nm a 1.782 nm, y el valor de precisión de forma PV disminuyó de 0.206λ (longitud de onda de 632.8) a 0.149λ. La tecnología de pulido asistido por ultrasonido robotizado tiene mejores resultados que el pulido sin ultrasonido, y mediante la cooperación de la vibración ultrasónica y la trayectoria de pulido se puede lograr un procesamiento de alta calidad del sulfuro de zinc.

pulido robotizado; pulido asistido por ultrasonido; sulfuro de zinc; función de remoción; calidad superficial