Para lograr una medición de alta precisión de superficies complejas, se estableció un sistema de medición por reflexión de franjas basado en la técnica de desviación de medición de fase, investigándose el diseño estructural del sistema de medición compuesto por la cámara, la pantalla y la pieza a medir, así como la calibración del sistema y los algoritmos de detección. Según las dimensiones y características de la superficie de la pieza, se seleccionaron cuidadosamente pantalla y cámara de alta calidad, calibrándose cada uno por separado. Se determinó la relación espacial entre los tres utilizando un brazo de medición de alta precisión, y se calibró el sistema combinando optimización asistida por computadora y análisis de simulación CODEV. Finalmente, se utilizó un algoritmo de reconstrucción integral para lograr la detección de alta precisión de las superficies complejas. Los resultados experimentales muestran que este sistema de medición alcanzó una precisión similar a LUPHOScan y ZYGO & CGH, con una precisión de medición RMS del frente de onda mejor que λ/50. El sistema de medición tiene una estructura simple, un amplio rango dinámico, alta resistencia a interferencias, mejorando la eficiencia y precisión en la medición de superficies complejas, cumple con los requisitos de precisión de detección, garantizando el procesamiento y ensamblaje de este tipo de piezas, mejorando eficazmente el rendimiento del equipo.

Medición óptica;Superficies complejas;Reflexión de franjas;Técnica de desviación de medición de fase;Reconstrucción integral