Para lograr el mecanizado determinista de superficies ópticas de alta precisión mediante haz de iones y reforzar el control preciso de la función de remoción del haz de iones durante el proceso de mecanizado, se estableció un modelo de compensación de función de remoción variable para un haz de iones de diámetro estrecho. Se realizó la investigación, análisis, compensación y optimización del problema de función de remoción variable para el haz de diámetro estrecho durante el proceso de mecanizado. Basado en el problema de inestabilidad de la función de remoción en el mecanizado real, se llevó a cabo un análisis teórico y se exploraron los factores directos e indirectos que afectan la función de remoción mediante deducción teórica. Los factores directos incluyen la acumulación de calor y la distribución de energía, mientras que los factores indirectos son el tiempo de residencia y la velocidad de avance. Se verificó el impacto del tiempo de residencia en la velocidad de remoción durante el proceso de mecanizado mediante un experimento dinámico de función de remoción. Los experimentos con dos grupos de haces de diferentes tamaños demostraron la repetibilidad de esta regla. Finalmente, se propuso un plan de compensación y recomendaciones de mecanizado basadas en la regla del impacto de la velocidad de avance en la velocidad de remoción. Los resultados experimentales muestran que mediante el control del tiempo de residencia / velocidad de avance, se puede mejorar eficazmente la tasa de convergencia del mecanizado de haz estrecho en superficies ópticas de alta precisión. En la verificación experimental del mecanizado óptico subnanométrico, se logró un resultado de mecanizado de 0.332 nm RMS en un espejo plano ULE de 100 mm, cumpliendo con los requisitos de estabilidad, confiabilidad, alta precisión y determinismo del haz de iones de diámetro estrecho en aplicaciones prácticas.

Mecanizado óptico;Mecanizado por haz de iones;Diámetro estrecho;Función de remoción variable;Tiempo de residencia;Compensación no lineal