Para lograr el procesamiento determinista de superficies ópticas de alta precisión con haz de iones y fortalecer el control preciso de la función de eliminación del haz de iones durante el proceso de procesamiento, se estableció un modelo de compensación de función de eliminación variable para un haz de iones de diámetro pequeño. Se llevó a cabo la investigación, análisis, compensación y optimización del problema de función de eliminación variable de haz de diámetro pequeño durante el procesamiento. Según el análisis teórico de la inestabilidad de la función de eliminación en el procesamiento real, combinado con la derivación teórica, se investigaron los factores directos e indirectos que afectan la función de eliminación; los factores directos incluyen la acumulación de calor y la distribución de energía, y los factores indirectos son el tiempo de residencia y la velocidad de avance. Mediante experimentos con función de eliminación dinámica se verificó el efecto del tiempo de residencia en la tasa de eliminación durante el procesamiento; los experimentos con dos grupos de tamaños de haz diferentes demostraron la repetibilidad de esta regla. Finalmente, se propuso un plan de compensación y recomendaciones de procesamiento basadas en la regla del efecto de la velocidad de avance sobre la tasa de eliminación. Los resultados experimentales muestran que, mediante el control del tiempo de residencia/la velocidad de avance, se puede mejorar eficazmente la tasa de convergencia del procesamiento con haz de diámetro pequeño en superficies ópticas de alta precisión. En la verificación experimental del procesamiento óptico subnanométrico, se alcanzó un resultado de procesamiento de 0.332 nm RMS en un espejo plano ULE de 100 mm, cumpliendo con los requisitos de estabilidad, confiabilidad, alta precisión y determinismo del haz de iones de diámetro pequeño en aplicaciones prácticas.

Procesamiento óptico; procesamiento con haz de iones; diámetro pequeño; función de eliminación variable; tiempo de residencia; compensación no lineal