Debido al alto costo del microscopio confocal láser tradicional y las limitaciones de los métodos tradicionales de visión artificial causadas por iluminación desigual en el fondo del orificio, imágenes borrosas y dificultad en la extracción de características, se desarrolló un sistema automático de medición de visión artificial basado en una fuente de luz coaxial. El sistema consta de una cámara industrial, una lente telecéntrica equipada con fuente de luz coaxial y una mesa de desplazamiento precisa de tres ejes, utilizando un algoritmo híbrido de enfoque y reconocimiento de características como estrategia principal de medición. Los resultados experimentales muestran que el sistema funciona de forma estable y confiable, con buen rendimiento. Se midieron muestras con 7 diferentes relaciones de profundidad/diámetro (3.17 ~ 7.87), la repetibilidad de la medición del diámetro fue de 0.56 a 4.58 μm, la repetibilidad mínima de la medición de profundidad alcanzó 0.80 μm y el coeficiente de variación más bajo fue solo del 0.09 %. La desviación del valor medio medido respecto al nominal fue generalmente menor al 1 %. El sistema logra mediciones eficientes y de alta precisión de los parámetros geométricos de microporos con grandes relaciones profundidad/diámetro, proporcionando una solución técnica de bajo costo para el control de calidad de microestructuras en manufactura de precisión.

Medición de microporos; relación profundidad/diámetro; autoenfoque; función gradiente Tenengrad; método de Otsu