Para abordar el problema de la detección de la planitud del plano focal del detector de empalme, se desarrolló un sistema de medición con dos cabezales paralelos montados en el mismo eje. Para los errores sistémicos existentes en este sistema, se propuso un modelo de compensación de errores basado en una descomposición robusta multi-postura para lograr una alta precisión en la detección de la planitud. Primero, se analizó el mecanismo de transmisión de errores en la estructura de medición de dos cabezales paralelos montados en el mismo eje. A continuación, utilizando el error del sistema fijado en el sistema de coordenadas del instrumento y las diferencias de invariantes espaciales de la forma calibrada del espejo fijadas en el sistema de coordenadas del espejo, se estableció un modelo de compensación de errores robusto multi-postura que descompone los resultados de medición diferencial en campo de error del sistema, forma calibrada del espejo y deriva de postura, y logra la calibración y compensación del error del sistema mediante mediciones de traslación y rotación en múltiples posturas. Los resultados experimentales muestran que, tomando los resultados de medición de alta precisión de Luphoscan como el valor verdadero de referencia, después de la compensación se suprimen significativamente los errores de inclinación general y las franjas periódicas en el campo diferencial original. La evaluación cuantitativa muestra que los residuos PV, RMSE y MAE del método propuesto son 4,400, 0,560 y 0,446 μm respectivamente, todos mejores que métodos comparativos como LightGBM; al mismo tiempo, la tasa de reducción de la tendencia en la dirección X alcanza el 97,82%, y la tasa de reducción periódica en la dirección Y alcanza el 85,85%. El modelo de compensación de errores propuesto puede separar y compensar eficazmente los errores sistémicos fijos en el sistema de medición de dos cabezales paralelos montados en el mismo eje, proporcionando un método eficaz para lograr la detección de alta precisión de la planitud del plano focal del detector de empalme.

Detección óptica; Detector de empalme; Medición diferencial; Detección de planitud; Compensación de errores del sistema