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晶圆定位标记光学成像的自适应聚焦评价
现代应用光学 | 更新时间：2026-09-11

    • 晶圆定位标记光学成像的自适应聚焦评价

    • Adaptive focusing evaluation algorithm for optical imaging of wafer positioning marks

    • 光学精密工程   2025年33卷第3期 页码：389-401

    • DOI：10.37188/OPE.20253303.0389    

      中图分类号： TH744;TP391.4
    • CSTR：32169.14.OPE.20253303.0389    

    • 收稿：2024-11-25，

      修回：2024-12-18，

      纸质出版：2025-02-10

    移动端阅览

  • 杨金,张航瑛,孟凯等.晶圆定位标记光学成像的自适应聚焦评价[J].光学精密工程,2025,33(03):389-401.

    YANG Jin,ZHANG Hangying,MENG Kai,et al.Adaptive focusing evaluation algorithm for optical imaging of wafer positioning marks[J].Optics and Precision Engineering,2025,33(03):389-401.

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