多光谱硫化锌高表面质量CMP工艺参数优化研究

任佳曈; 秦琳; 朱蓓蓓; 蔡根; 楚建宁; 张楚鹏; 陈肖

doi:10.37188/OPE.20253318.2868

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多光谱硫化锌高表面质量CMP工艺参数优化研究

现代应用光学 | 更新时间：2025-11-04

- 多光谱硫化锌高表面质量CMP工艺参数优化研究
- Optimization of process parameters of multi-spectral ZnS CMP with high surface quality
- “在多光谱硫化锌表面处理领域，专家通过优化化学机械抛光工艺参数，实现了表面高精度与高质量的协同控制，为高性能光学器件应用提供技术支持。”
- 光学精密工程 2025年33卷第18期页码：2868-2881
- 作者机构：
  
  1.现代制造质量工程湖北省重点实验室，湖北工业大学，湖北武汉 430068
  2.上海航天控制技术研究所，上海 201109
- 作者简介：
  
  [ "任佳曈（2000-），女，山西晋中人，湖北工业大学机械工程学院研究生在读，主要从事超精密加工与装备研究。E-mail：rjiatong89@163.com" ]
  [ "陈肖（1987-），男，湖北荆州人，博士，教授，硕士生导师，2011年、2014年于华中科技大学分别获得硕士、博士学位，主要从事超精密制造方面的研究。E-mail： chenxiao1987jz@163.com" ]
- 基金信息：
  
  硬脆光学元件激光辅助超精密加工机理与工艺(IMETKF2023008);现代制造质量工程湖北省重点实验室开放基金资助(KFJJ-2022006);博士科研启动基金(XJ2024001101)
- DOI：10.37188/OPE.20253318.2868
  中图分类号： TP394.1;TH691.9
- CSTR：32169.14.OPE.20253318.2868
- 收稿：2025-07-10，
  
  修回：2025-07-29，
  
  纸质出版：2025-09-25
- 稿件说明：
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任佳曈,秦琳,朱蓓蓓等.多光谱硫化锌高表面质量CMP工艺参数优化研究[J].光学精密工程,2025,33(18):2868-2881.

REN Jiatong,QIN Lin,ZHU Beibei,et al.Optimization of process parameters of multi-spectral ZnS CMP with high surface quality[J].Optics and Precision Engineering,2025,33(18):2868-2881.
任佳曈,秦琳,朱蓓蓓等.多光谱硫化锌高表面质量CMP工艺参数优化研究[J].光学精密工程,2025,33(18):2868-2881. DOI： 10.37188/OPE.20253318.2868. CSTR： 32169.14.OPE.20253318.2868.

REN Jiatong,QIN Lin,ZHU Beibei,et al.Optimization of process parameters of multi-spectral ZnS CMP with high surface quality[J].Optics and Precision Engineering,2025,33(18):2868-2881. DOI： 10.37188/OPE.20253318.2868. CSTR： 32169.14.OPE.20253318.2868.

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多光谱硫化锌高表面质量CMP工艺参数优化研究

Optimization of process parameters of multi-spectral ZnS CMP with high surface quality

DOI：10.37188/OPE.20253318.2868