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跨尺度微纳米三坐标测量机研制及误差分析
微纳技术与精密机械 | 更新时间：2026-09-11

    • 跨尺度微纳米三坐标测量机研制及误差分析

    • Development and error analysis of cross-scale micro-nano coordinate measuring machine

    • 光学精密工程   2025年33卷第19期 页码：3058-3069

    • DOI：10.37188/OPE.20253319.3058    

      中图分类号： TH711;TB9
    • CSTR：32169.14.OPE.20253319.3058    

    • 收稿：2025-06-30，

      修回：2025-07-28，

      纸质出版：2025-10-10

    移动端阅览

  • 黄强先,刘慧洁,张祖杨等.跨尺度微纳米三坐标测量机研制及误差分析[J].光学精密工程,2025,33(19):3058-3069.

    HUANG Qiangxian,LIU Huijie,ZHANG Zuyang,et al.Development and error analysis of cross-scale micro-nano coordinate measuring machine[J].Optics and Precision Engineering,2025,33(19):3058-3069.

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