宏-微-纳跨尺度粘滑型压电驱动器动力学建模与试验评价

云浩; 陈延龙; 原路生; 李京顺; 张登攀

doi:10.37188/OPE.20253320.3252

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宏-微-纳跨尺度粘滑型压电驱动器动力学建模与试验评价

微纳技术与精密机械 | 更新时间：2025-12-02

- 宏-微-纳跨尺度粘滑型压电驱动器动力学建模与试验评价
- Dynamic modeling and experimental evaluation of Macro-Micro-Nano cross-scale stick-slip piezoelectric actuators
- “在微纳电子制造领域，研究者提出了一种粘滑型压电驱动器，满足晶圆检测系统及扫描电子显微镜光学系统内部精密驱动需求。该驱动器具备宏-微-纳跨尺度驱动能力，最大空载速度20.3 mm/s，最大步进位移15.82 μm，定位分辨率70 nm，最大负载2.2 N。”
- 光学精密工程 2025年33卷第20期页码：3252-3264
- 作者机构：
  
  1.河南理工大学机械与动力工程学院，河南焦作 454003
  2.叶县先进制造业开发区科技研发中心，河南平顶山 467212
  3.南京航空航天大学航空航天结构力学及控制全国重点实验室，江苏南京 210016
- 作者简介：
  
  [ "云浩（1994-），男，河南焦作人，博士，讲师，2017年、2020年于河南理工大学分别获得学士学位与硕士学位，2023年于日本室兰工业大学获得博士学位，主要从事精密压电驱动方面的研究。 E-mail： yunhao@hpu.edu.cn" ]
- 基金信息：
  
  河南省科技攻关项目(252102221010);河南省高等学校重点科研项目(25A460010);河南省高校基本科研业务费专项资金资助
- DOI：10.37188/OPE.20253320.3252
  中图分类号： TH122
- CSTR：32169.14.OPE.20253320.3252
- 收稿：2025-07-09，
  
  修回：2025-08-09，
  
  纸质出版：2025-10-25
- 稿件说明：
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云浩,陈延龙,原路生等.宏-微-纳跨尺度粘滑型压电驱动器动力学建模与试验评价[J].光学精密工程,2025,33(20):3252-3264.

YUN Hao,CHEN Yanlong,YUAN Lusheng,et al.Dynamic modeling and experimental evaluation of Macro-Micro-Nano cross-scale stick-slip piezoelectric actuators[J].Optics and Precision Engineering,2025,33(20):3252-3264.
云浩,陈延龙,原路生等.宏-微-纳跨尺度粘滑型压电驱动器动力学建模与试验评价[J].光学精密工程,2025,33(20):3252-3264. DOI： 10.37188/OPE.20253320.3252. CSTR： 32169.14.OPE.20253320.3252.

YUN Hao,CHEN Yanlong,YUAN Lusheng,et al.Dynamic modeling and experimental evaluation of Macro-Micro-Nano cross-scale stick-slip piezoelectric actuators[J].Optics and Precision Engineering,2025,33(20):3252-3264. DOI： 10.37188/OPE.20253320.3252. CSTR： 32169.14.OPE.20253320.3252.

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DOI：10.37188/OPE.20253320.3252