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超高精度平面度误差的混合优化评定及应用
现代应用光学 | 更新时间：2026-09-11

    • 超高精度平面度误差的混合优化评定及应用

    • Hybrid optimization evaluation and application of ultra-high precision flatness error

    • 光学精密工程   2026年34卷第3期 页码：393-402

    • DOI：10.37188/OPE.20263403.0393    

      中图分类号： TH701;TP391
    • CSTR：32169.14.OPE.20263403.0393    

    • 收稿：2025-11-04，

      修回：2025-12-08，

      纸质出版：2026-02-10

    移动端阅览

  • 谭陆洋,齐天飞,武智渊等.超高精度平面度误差的混合优化评定及应用[J].光学精密工程,2026,34(03):393-402.

    TAN Luyang,QI Tianfei,WU Zhiyuan,et al.Hybrid optimization evaluation and application of ultra-high precision flatness error[J].Optics and Precision Engineering,2026,34(03):393-402.

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