基于近远场结合的微结构调制像差仿真

鲍帅; 高志山; 霍霄; 刘秋言; 乔文佑; 杨文卓; 袁群; 郭珍艳

doi:10.37188/OPE.20253305.0716

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基于近远场结合的微结构调制像差仿真

现代应用光学 | 更新时间：2025-04-17

- 基于近远场结合的微结构调制像差仿真
- Simulation of sample induced aberration for microstructure based on near-far fields
- “在光学成像领域，专家提出了近远场结合的像差仿真方法，有效提高了仿真计算效率，为高深宽比微结构测量提供解决方案。”
- 光学精密工程 2025年33卷第5期页码：716-727
- 作者机构：
  
  南京理工大学电子工程与光电技术学院，江苏南京 210094
- 作者简介：
  
  [ "鲍帅（2001-），男，浙江温州人，硕士研究生，2022年于江西科技师范大学获得学士学位，主要研究方向为光学精密测量。E-mail： baoshuai20015 21@163.com" ]
  [ "高志山（1966-），男，江苏淮安人，教授，1992年于中国科学院长春光学精密机械研究所获得硕士学位，2000年于南京理工大学获得博士学位，主要研究方向为精密光学测试、先进光学设计。E-mail： zhishgao@njust.edu.cn" ]
- 基金信息：
  
  国家自然科学基金资助项目(62327814;62175107;62205148);国家重点研发计划资助项目(2022YFF0706302;2023YFF0720601);江苏省高校青蓝工程
- DOI：10.37188/OPE.20253305.0716
  中图分类号： O436.1;TH741
- CSTR：32169.14.OPE.20253305.0716
- 收稿日期：2024-12-06，
  
  修回日期：2025-01-18，
  
  纸质出版日期：2025-03-10
- 稿件说明：
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鲍帅,高志山,霍霄等.基于近远场结合的微结构调制像差仿真[J].光学精密工程,2025,33(05):716-727.

BAO Shuai,GAO Zhishan,HUO Xiao,et al.Simulation of sample induced aberration for microstructure based on near-far fields[J].Optics and Precision Engineering,2025,33(05):716-727.
鲍帅,高志山,霍霄等.基于近远场结合的微结构调制像差仿真[J].光学精密工程,2025,33(05):716-727. DOI： 10.37188/OPE.20253305.0716. CSTR： 32169.14.OPE.20253305.0716.

BAO Shuai,GAO Zhishan,HUO Xiao,et al.Simulation of sample induced aberration for microstructure based on near-far fields[J].Optics and Precision Engineering,2025,33(05):716-727. DOI： 10.37188/OPE.20253305.0716. CSTR： 32169.14.OPE.20253305.0716.

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