您当前的位置：
首页 >
文章列表页 >
全息曝光干涉条纹相位锁定系统设计
微纳技术与精密机械 | 更新时间：2025-08-08

    • 全息曝光干涉条纹相位锁定系统设计

    • Design of holographic exposure interference fringe phase locking system

    • “在全息光栅制造领域，专家设计了相位锁定系统，有效提高了干涉条纹稳定性，为大尺寸光栅制造提供解决方案。”
    • 光学精密工程   2025年33卷第13期 页码：2056-2065

    • DOI：10.37188/OPE.20253313.2056    

      中图分类号： TP273;TH691.9
    • CSTR：32169.14.OPE.20253313.2056    

    • 收稿日期：2025-03-13，

      修回日期：2025-04-02，

      纸质出版日期：2025-07-10

    移动端阅览

  • 王起程,王新宇,于宏柱等.全息曝光干涉条纹相位锁定系统设计[J].光学精密工程,2025,33(13):2056-2065. DOI： 10.37188/OPE.20253313.2056. CSTR： 32169.14.OPE.20253313.2056.

    WANG Qicheng,WANG Xinyu,YU Hongzhu,et al.Design of holographic exposure interference fringe phase locking system[J].Optics and Precision Engineering,2025,33(13):2056-2065. DOI： 10.37188/OPE.20253313.2056. CSTR： 32169.14.OPE.20253313.2056.

  •  
  •  

0

浏览量

96

下载量

0

CSCD

文章被引用时，请邮件提醒。
提交
工具集
下载
参考文献导出
分享
收藏
添加至我的专辑

相关文章

小形变变形镜的设计及其在低像差脉冲压缩光栅中的应用
重力对星载傅里叶光谱仪动镜系统的影响
宽波段全息-离子束刻蚀光栅的设计及工艺
移频式全息光栅曝光干涉条纹锁定系统的设计
全息光栅制作中光栅掩模槽形形状随光刻胶特性曲线的演化规律

相关作者

李朝明
王丹
韦晓茹
吴建宏
陈新荣
段娟
王海英
王战虎

相关机构

苏州大学 物理与光电·能源学部与苏州纳米科技协同创新中心 江苏省先进光学制造技术重点实验室 教育部现代光学技术重点实验室
中国科学院 上海技术物理研究所
中国科学院 红外探测与成像技术重点实验室
中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所, 吉林 长春 130033
中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所
0