您当前的位置：
首页 >
文章列表页 >
极紫外光学元件全频段面形误差检测与缺陷探测技术研究进展
现代应用光学 | 更新时间：2025-09-30

    • 极紫外光学元件全频段面形误差检测与缺陷探测技术研究进展

    • Research progress of full-spatial frequency error measurement and defect detection technology for extreme ultraviolet optical components

    • “聚焦光学元件超精密制造，分析了表面误差形成机理和检测技术挑战，为高性能光学元件国产化提供技术参考。”
    • 光学精密工程   2025年33卷第17期 页码：2661-2690

    • DOI：10.37188/OPE.20253317.2661    

      中图分类号： TN247
    • CSTR：32169.14.OPE.20253317.2661    

    • 收稿日期：2025-06-20，

      修回日期：2025-07-29，

      纸质出版日期：2025-09-10

    移动端阅览

  • 李佳慧,匡翠方,徐月暑等.极紫外光学元件全频段面形误差检测与缺陷探测技术研究进展[J].光学精密工程,2025,33(17):2661-2690. DOI： 10.37188/OPE.20253317.2661. CSTR： 32169.14.OPE.20253317.2661.

    LI Jiahui,KUANG Cuifang,XU Yueshu,et al.Research progress of full-spatial frequency error measurement and defect detection technology for extreme ultraviolet optical components[J].Optics and Precision Engineering,2025,33(17):2661-2690. DOI： 10.37188/OPE.20253317.2661. CSTR： 32169.14.OPE.20253317.2661.

  •  
  •  

0

浏览量

0

下载量

0

CSCD

文章被引用时，请邮件提醒。
提交
工具集
下载
参考文献导出
分享
收藏
添加至我的专辑

相关文章

基于光谱共焦探针的Wolter-I型X射线显微镜芯轴高精度检测
非同轴并行彩色共聚焦测量系统表面倾斜角度误差分析及校正
爆炸激波管出口流场特征的纹影诊断与分析
反射镜面辅助的航空机匣三维变形多视角测量
斜视场弱相关散斑图像的离散化匹配

相关作者

薛春安
余俊
盛鹏峰
王豪杰
王占山
王东方
李姝姝
余卿

相关机构

中国科学院 上海技术物理研究所 光电制造工程中心
同济大学 先进微结构材料教育部重点实验室
同济大学 精密光学工程技术研究所
同济大学 机械工程学院
福建省移动机械绿色智能驱动与传动重点实验室
0