超声辅助机器人抛光硫化锌材料去除机理及工艺优化

王志; 朱德清; 王雪; 罗皓麒; 臧艺凯; 刘浩然; 马善意; 肖峻峰; 张建国

doi:10.37188/OPE.20253317.2754

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超声辅助机器人抛光硫化锌材料去除机理及工艺优化

微纳技术与精密机械 | 更新时间：2025-09-30

- 超声辅助机器人抛光硫化锌材料去除机理及工艺优化
- Material removal mechanism and process optimization of ultrasonic-assisted robot polishing for zinc sulfide
- “在光学元件抛光领域，专家构建了硫化锌材料的超声辅助抛光理论与工艺体系，通过实验验证了修正去除函数的准确性，并发现超声辅助抛光技术能显著提升硫化锌的面形精度和表面粗糙度。”
- 光学精密工程 2025年33卷第17期页码：2754-2764
- 作者机构：
  
  1.华中科技大学机械科学与工程学院智能制造装备与技术全国重点实验室，湖北武汉 430074
  2.中国航空工业集团公司北京航空精密机械研究所，北京 100076
- 作者简介：
  
  [ "王志（2000-），男，安徽宿州人，硕士研究生，主要从事超精密加工研究。E-mail： m202370798@hust.edu.cn" ]
  [ "张建国（1985-），男，河北张家口人，博士，教授，2008年、2010年于哈尔滨工业大学分别获得学士和硕士学位，2014年于日本名古屋大学获得博士学位，主要从事超精密和智能制造方面的研究。E-mail： zhangjg@hust.edu.cn" ]
- 基金信息：
  
  国防基础科研资助项目(JCKY2023205B002)
- DOI：10.37188/OPE.20253317.2754
  中图分类号： TP242;O426.9
- CSTR：32169.14.OPE.20253317.2754
- 收稿日期：2025-06-13，
  
  修回日期：2025-08-02，
  
  纸质出版日期：2025-09-10
- 稿件说明：
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王志,朱德清,王雪等.超声辅助机器人抛光硫化锌材料去除机理及工艺优化[J].光学精密工程,2025,33(17):2754-2764.

WANG Zhi,ZHU Deqing,WANG Xue,et al.Material removal mechanism and process optimization of ultrasonic-assisted robot polishing for zinc sulfide[J].Optics and Precision Engineering,2025,33(17):2754-2764.
王志,朱德清,王雪等.超声辅助机器人抛光硫化锌材料去除机理及工艺优化[J].光学精密工程,2025,33(17):2754-2764. DOI： 10.37188/OPE.20253317.2754. CSTR： 32169.14.OPE.20253317.2754.

WANG Zhi,ZHU Deqing,WANG Xue,et al.Material removal mechanism and process optimization of ultrasonic-assisted robot polishing for zinc sulfide[J].Optics and Precision Engineering,2025,33(17):2754-2764. DOI： 10.37188/OPE.20253317.2754. CSTR： 32169.14.OPE.20253317.2754.

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DOI：10.37188/OPE.20253317.2754