铝基碳化硅表面活化与镍磷非晶膜制备

张兆谦; 周天丰; 吴驯未; 于谦; 赵斌

doi:10.37188/OPE.20263401.0061

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铝基碳化硅表面活化与镍磷非晶膜制备

微纳技术与精密机械 | 更新时间：2026-01-21

- 铝基碳化硅表面活化与镍磷非晶膜制备
- Surface activation of aluminum-based silicon carbide and preparation of nickel-phosphorus amorphous
- “铝基碳化硅反射镜表面改性技术取得新进展，优化制备镍磷非晶膜工艺，提升镀层界面结合强度与材料致密度，满足空间光学反射镜高稳定性需求。”
- 光学精密工程 2026年34卷第1期页码：61-71
- 作者机构：
  
  1.北京理工大学机械与车辆学院，北京 100081
  2.北京理工大学先进光场显示芯片与系统全国重点实验室，北京 100081
- 作者简介：
  
  [ "张兆谦（2000-），男，陕西西安人，硕士研究生，2022年于北京理工大学获得学士学位，主要从事非球面铝基碳化硅反射镜表面镀层加工工艺的研究。E-mail：1324819790@qq.com" ]
  [ "赵斌（1991-），男，山东德州人，博士，副教授，博士生导师，2018年于山东大学获得博士学位，主要研究方向为难加工材料切削刀具与工艺。E-mail：bin.zhao@bit.edu.cn" ]
- 基金信息：
  
  国家自然科学青年基金资助项目(52205441)
- DOI：10.37188/OPE.20263401.0061
  中图分类号： TB331;TQ153.1
- CSTR：32169.14.OPE.20263401.0061
- 收稿：2025-08-19，
  
  修回：2025-09-19，
  
  纸质出版：2026-01-10
- 稿件说明：
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张兆谦,周天丰,吴驯未等.铝基碳化硅表面活化与镍磷非晶膜制备[J].光学精密工程,2026,34(01):61-71.

ZHANG Zhaoqian,ZHOU Tianfeng,WU Xunwei,et al.Surface activation of aluminum-based silicon carbide and preparation of nickel-phosphorus amorphous[J].Optics and Precision Engineering,2026,34(01):61-71.
张兆谦,周天丰,吴驯未等.铝基碳化硅表面活化与镍磷非晶膜制备[J].光学精密工程,2026,34(01):61-71. DOI： 10.37188/OPE.20263401.0061. CSTR： 32169.14.OPE.20263401.0061.

ZHANG Zhaoqian,ZHOU Tianfeng,WU Xunwei,et al.Surface activation of aluminum-based silicon carbide and preparation of nickel-phosphorus amorphous[J].Optics and Precision Engineering,2026,34(01):61-71. DOI： 10.37188/OPE.20263401.0061. CSTR： 32169.14.OPE.20263401.0061.

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