电容式三维纳米测量测头

黄强先; 张星月; 郝蔚宁; 赵志浩; 张连生; 程荣俊; 李红莉

doi:10.37188/OPE.20263415.2369

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电容式三维纳米测量测头

微纳技术与精密机械 | 更新时间：2026-08-14

- 电容式三维纳米测量测头
- Capacitive 3D nanoscale measurement probe
- 光学精密工程 2026年34卷第15期页码：2369-2377
- 作者机构：
  
  合肥工业大学仪器科学与光电工程学院测量理论与精密仪器安徽省重点实验室，安徽合肥 230009
- 作者简介：
  
  黄强先（1968-），男，山东即墨人，教授，博士生导师，1998年于合肥工业大学获得博士学位，主要从事微纳米三维测量技术、纳米扫描探针技术及仪器精度理论的研究及应用。 E-mail： huangqx@hfut.edu.com
  张连生（1986-），男，山东莘县人，副教授，硕士生导师，2015年于中国科学技术大学获得博士学位，主要研究方向为微纳米测量技术与系统、压电精密驱动与应用等。 E-mail： lszhang@hfut.edu.cn
- 基金信息：
  
  国家重点研发计划资助项目(2019YFB2004900)
- DOI：10.37188/OPE.20263415.2369
  中图分类号： TH711;TB9
- CSTR：32169.14.OPE.20263415.2369
- 收稿：2026-04-14，
  
  修回：2026-05-11，
  
  网络首发：2026-08-14，
  
  纸质出版：2026-08-10
- 稿件说明：
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黄强先,张星月,郝蔚宁等.电容式三维纳米测量测头[J].光学精密工程,2026,34(15):2369-2377.

HUANG Qiangxian,ZHANG Xingyue,HAO Weining,et al.Capacitive 3D nanoscale measurement probe[J].Optics and Precision Engineering,2026,34(15):2369-2377.
黄强先,张星月,郝蔚宁等.电容式三维纳米测量测头[J].光学精密工程,2026,34(15):2369-2377. DOI： 10.37188/OPE.20263415.2369. CSTR： 32169.14.OPE.20263415.2369.

HUANG Qiangxian,ZHANG Xingyue,HAO Weining,et al.Capacitive 3D nanoscale measurement probe[J].Optics and Precision Engineering,2026,34(15):2369-2377. DOI： 10.37188/OPE.20263415.2369. CSTR： 32169.14.OPE.20263415.2369.

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电容式三维纳米测量测头

Capacitive 3D nanoscale measurement probe

DOI：10.37188/OPE.20263415.2369