晶圆激光隐切焦点高速动态跟踪与误差补偿

董岱; 孙虎; 崔建华; 宋亚军; 赵会宁; 夏豪杰

doi:10.3724/OPE.20263419.3056

您当前的位置：

首页 >

文章列表页 >

晶圆激光隐切焦点高速动态跟踪与误差补偿

微纳技术与精密机械 | 更新时间：2026-10-20

- 晶圆激光隐切焦点高速动态跟踪与误差补偿
- High-speed dynamic focus tracking and error compensation for wafer laser stealth dicing
- 光学精密工程 2026年34卷第19期页码：3056-3068
- 作者机构：
  
  1.合肥工业大学仪器科学与光电工程学院，安徽合肥 230009
  2.测量理论与精密仪器安徽省重点实验室，安徽合肥 230009
  3.珠海东辉半导体装备有限公司，广东珠海 519000
- 作者简介：
  
  董岱（1987-），男，安徽宿州人，博士研究生，2010年于合肥工业大学获得学士学位，主要研究方向为显示及半导体领域激光微纳加工。E-mail： alex@orientechzh.com
  夏豪杰（1979-），男，安徽宿州人，博士，教授，博士生导师，2006年于合肥工业大学获得博士学位，主要研究方向为光电精密测量技术、微纳测控系统、仪器精度理论及精密仪器设计。E-mail： hjxia@ mail.hfut.edu.cn
- 基金信息：
  
  安徽省科技重大专项资助项目(2022e03020009)
- DOI：10.3724/OPE.20263419.3056
  中图分类号： TH712
- CSTR：32169.14.OPE.20263419.3056
- 收稿：2026-06-27，
  
  修回：2026-07-24，
  
  纸质出版：2026-10-10
- 稿件说明：
移动端阅览
董岱,孙虎,崔建华等.晶圆激光隐切焦点高速动态跟踪与误差补偿[J].光学精密工程,2026,34(19):3056-3068.

DONG Dai,SUN Hu,CUI Jianhua,et al.High-speed dynamic focus tracking and error compensation for wafer laser stealth dicing[J].Optics and Precision Engineering,2026,34(19):3056-3068.
董岱,孙虎,崔建华等.晶圆激光隐切焦点高速动态跟踪与误差补偿[J].光学精密工程,2026,34(19):3056-3068. DOI： 10.3724/OPE.20263419.3056. CSTR： 32169.14.OPE.20263419.3056.

DONG Dai,SUN Hu,CUI Jianhua,et al.High-speed dynamic focus tracking and error compensation for wafer laser stealth dicing[J].Optics and Precision Engineering,2026,34(19):3056-3068. DOI： 10.3724/OPE.20263419.3056. CSTR： 32169.14.OPE.20263419.3056.

浏览量

下载量

CSCD

文章被引用时，请邮件提醒。

提交

工具集

关联资源

光纤耦合系统中角位移台耦合误差建模与修正

地基空间目标望远镜全天时探测能力特性模型设计及实现

增强反射的被动非视域成像U-NET重构

基于Mamba架构的遥感图像超分辨率重建方法综述

中国仪器企业如何突破规模瓶颈

晶圆激光隐切焦点高速动态跟踪与误差补偿

High-speed dynamic focus tracking and error compensation for wafer laser stealth dicing

DOI：10.3724/OPE.20263419.3056