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双LaNiO3应变调控锆钛酸铅薄膜低温制备及其MEMS微镜应用
微纳技术与精密机械 | 更新时间：2026-10-20

    • 双LaNiO3应变调控锆钛酸铅薄膜低温制备及其MEMS微镜应用

    • Dual LaNiO3 strain regulation for low-temperature PZT films and MEMS micromirror application

    • 光学精密工程   2026年34卷第19期 页码：3069-3078

    • DOI：10.3724/OPE.20263419.3069    

      中图分类号： TN384;TN304.9
    • CSTR：32169.14.OPE.20263419.3069    

    • 收稿：2026-06-30，

      修回：2026-07-24，

      纸质出版：2026-10-10

    移动端阅览

  • 郜晨希,解婧,尹楚君等.双LaNiO3应变调控锆钛酸铅薄膜低温制备及其MEMS微镜应用[J].光学精密工程,2026,34(19):3069-3078. DOI: 10.3724/OPE.20263419.3069. CSTR: 32169.14.OPE.20263419.3069.

    GAO Chenxi,XIE Jing,YIN Chujun,et al.Dual LaNiO3 strain regulation for low-temperature PZT films and MEMS micromirror application[J].Optics and Precision Engineering,2026,34(19):3069-3078. DOI: 10.3724/OPE.20263419.3069. CSTR: 32169.14.OPE.20263419.3069.

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