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基于白光的双波长相移干涉的误差分析
基于白光的双波长相移干涉的误差分析
Error Analysis on Two-wavelength White-light Phase-shifting interferometry
- 光学精密工程 1999年7卷第5期 页码:106-113
修回:1999-2-3
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安徽工业大学 机械工程学院
柳州欧维姆机械股份有限公司
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