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相移器平移误差与倾斜误差不敏感相移新算法
相移器平移误差与倾斜误差不敏感相移新算法
New algorithm insensitive to the piston and tilt errors of reference mirror for phase stepping interferometer
- 光学精密工程 2000年8卷第2期 页码：185-188
修回：1999-11-23
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