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软X射线光学系统曲面镀膜膜厚测量方法
软X射线光学系统曲面镀膜膜厚测量方法
Period measuring and accuracy analyzing method for soft X-ray optical system
- 光学精密工程 2000年8卷第2期 页码：124-127
修回：1999-11-5
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