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振镜二维扫描的图形畸变校正和曝光量补偿
振镜二维扫描的图形畸变校正和曝光量补偿
Calibration of graphic distortion and compensation of exposure for dual galvanometer scanning
- 光学精密工程 2000年8卷第2期 页码:115-119
修回:1999-12-16
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