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不同材料滤片对13~43 nm高次谐波的抑制
不同材料滤片对13~43 nm高次谐波的抑制
Suppression of higher-order harmonics by different material filters in 13~43 nm
- 光学精密工程 2007年15卷第12期 页码：1915-1920
修回：2007-10-10
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