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极紫外宽带Mo/Si非周期多层膜偏振光学元件
极紫外宽带Mo/Si非周期多层膜偏振光学元件
Broadband aperiodic Mo/Si multilayer polarization elements for EUV region
- 光学精密工程 2007年15卷第12期 页码：1886-1893
修回：2007-10-10
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