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微热压印过程聚合物流动形貌研究
微热压印过程聚合物流动形貌研究
Study of the polymer flow profile in micro hot embossing
- 光学精密工程 2008年16卷第2期 页码：270-278
修回：2007-10-17
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天津工业大学 电子与信息工程学院
北京石油化工学院 精密电磁装备与先进测量技术研究所
香港理工大学 工业及系统工程系 超精密加工技术国家重点实验室
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