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掩模电镀镍微结构均匀性的研究
微纳技术与精密机械 | 更新时间:2020-08-12
    • 掩模电镀镍微结构均匀性的研究

    • Uniformity study of Ni Microstructure Deposited by Through-Mask Plating

    • 吴一辉 ,李加东 ,张平 ,宣明 ,刘永顺
    • 光学精密工程 2008年16卷第3期 页码:452-458
    • 修回:2007-10-31 ,

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同济大学 物理科学与工程学院 精密光学工程技术研究所,先进微结构材料教育部重点实验室,上海市数字光学前沿科学研究基地,上海市全光谱高性能光学薄膜器件与 应用专业技术服务平台
西北核技术研究所 激光与物质相互作用国家重点实验室
河北理工大学机械学院
机械制造及自动化教育部重点实验室,浙江工业大学2. 浙江工业大学