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真空紫外闪耀硅光栅的制作
真空紫外闪耀硅光栅的制作
Vacuum-ultraviolet Blazed Silicon Grating Anisotropically Etched in KOH Solution
- 光学精密工程 2010年18卷第1期 页码：94-99
修回：2009-6-24
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