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用于无模光刻的连续浮雕谐衍射透镜阵列设计
用于无模光刻的连续浮雕谐衍射透镜阵列设计
Design and characterization of harmonic diffractive microlens arrays with continuous relief for maskless lithography
- 光学精密工程 2010年18卷第1期 页码：9-14
修回：2009-4-1
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