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用自制总积分散射仪进行SiC基底表面改性效果评估
用自制总积分散射仪进行SiC基底表面改性效果评估
Use self-made TIS scatterometer to evaluate the performance of the surface modification of silicon carbide mirror
- 光学精密工程 2008年16卷第10期 页码：1841-1846
修回：2008-6-13
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