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超精密全口径抛光机气浮转台的静态特性
微纳技术与精密机械 | 更新时间：2026-09-12
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    • 超精密全口径抛光机气浮转台的静态特性

    • Static characteristics of air-floating turntable of ultra-precision full-aperture polisher

    • 安磊 ，王伟 ，廖德锋
    • 光学精密工程 2021年29卷第7期 页码：1640-1652

    • DOI： 10.37188/OPE.2020.0564     

      中图分类号：

    • 修回：2020-12-02 ，

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