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基于光学自准直法的光波导阵列平行度测试
现代应用光学 | 更新时间:2020-08-13
基于光学自准直法的光波导阵列平行度测试
Parallelism measurement of geometric waveguide array based on autocollimation
- 光学 精密工程 2020年28卷第7期 页码:1415-1423
DOI: 10.37188/OPE.20202807.1415
修回:2020-5-7 ,
录用:2020-5-7
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