模板微电铸工艺制备金字塔形镍纳米尖

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模板微电铸工艺制备金字塔形镍纳米尖

微纳技术与精密机械 | 更新时间：2020-08-13

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- 模板微电铸工艺制备金字塔形镍纳米尖
- Preparation of pyramidal Ni nano-tips using template-microelectroforming technique
- 胡亚明，梁军生，杨金鹤，王大志，王立鼎
- 光学精密工程 2020年28卷第7期页码：1500-1509
- 作者机构：
  1.大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统重点实验室, 辽宁大连 116024
  2.大连理工大学精密与特种加工技术教育部重点实验室, 辽宁大连 116024
  3.海信新研发中心, 山东青岛 266100
- 作者简介：
  胡亚明(1993-), 男, 河南商丘人, 硕士研究生, 2016年于沈阳工业大学获得学士学位, 主要从事微纳针尖及脉冲电射流打印喷头制备工艺的研究。E-mail:huym666@dlut.edu.cn
  梁军生(1973-), 男, 广西桂林人, 博士, 研究员, 博士生导师, 1995年于合肥工业大学获得学士学位, 2003年于桂林电子科技大学获得硕士学位, 2007年于大连理工大学获得博士学位, 主要从事微纳米制造与器件、微纳机电系统的研究。E-mail:jsliang@dlut.edu.cnLIANG Jun-sheng, E-mail: jsliang@dlut.edu.cn
- 基金信息：
  国家自然科学基金资助项目(51675085);大连市科技创新基金资助项目(2019JRGX042)
- DOI： 10.37188/OPE.20202807.1500
  中图分类号：
- 修回：2020-2-6 ，
  录用：2020-2-6 ，
- 稿件说明：
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