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基于多孔式敏感膜片的MEMS光纤珐珀传感器及其局部放电检测
微纳技术与精密机械 | 更新时间：2026-09-12
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    • 基于多孔式敏感膜片的MEMS光纤珐珀传感器及其局部放电检测

    • MEMS fiber optic Fabry-Perot sensors based on porous sensing diaphragms and applications for partial discharge detection

    • 司文荣 ，傅晨钊 ，卜剑 ，倪鹤立 ，李浩勇 ，王谢君 ，鞠登峰 ，虞益挺
    • 光学精密工程 2021年29卷第11期 页码：2613-2621

    • DOI： 10.37188/OPE.20212911.2613     

      中图分类号：

    • 修回：2021-04-20 ，

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相关作者

司文荣
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李浩勇
王谢君
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