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负偏压对含氢类金刚石薄膜性能的影响
微纳技术与精密机械 | 更新时间：2026-09-12
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    • 负偏压对含氢类金刚石薄膜性能的影响

    • Effect of negative bias voltage on properties of hydrogenated diamond-like carbon films

    • 郑锦华 ，刘青云 ，李志雄
    • 光学精密工程 2022年30卷第4期 页码：411-420

    • DOI： 10.37188/OPE.20223004.0411     

      中图分类号：

    • 修回：2021-08-13 ，

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郑锦华
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