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超精密空间分离式外差利特罗平面光栅编码器位移测量系统
现代应用光学 | 更新时间：2026-09-12
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    • 超精密空间分离式外差利特罗平面光栅编码器位移测量系统

    • Ultra-precision spatial-separated heterodyne Littrow grid encoder displacement measurement system

    • 王磊杰 ，郭子文 ，叶伟楠 ，张鸣 ，朱煜
    • 光学精密工程 2022年30卷第5期 页码：499-509

    • DOI： 10.37188/OPE.20223005.0499     

      中图分类号：

    • 修回：2021-09-24 ，

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王磊杰 张鸣 朱煜 叶伟楠 杨富中
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清华大学 机械工程系 摩擦学国家重点实验室&精密超精密制造装备及控制北京市重点实验室
清华大学 机械工程系摩擦学国家重点实验室&精密超精密 制造装备及控制北京市重点实验室
中国科学院 西安光学精密机械研究所 超快光科学与技术全国重点实验室
西安邮电大学 电子工程学院
重庆大学 光电工程学院 光电技术及系统教育部重点实验室