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三维微纳米台阶高精度光学显微测量量化表征
现代应用光学 | 更新时间：2026-09-12
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    • 三维微纳米台阶高精度光学显微测量量化表征

    • High-accuracy characterization of areal micro-nano steps measured with optical microscopes

    • 王陈 ，孟宪昱 ，于瀛洁 ，孔明 ，刘维
    • 光学精密工程 2022年30卷第6期 页码：651-658

    • DOI： 10.37188/OPE.20223006.0651     

      中图分类号：

    • 修回：2021-09-06 ，

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