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基于差极结构的绝对式直线时栅位移传感器研究及测量误差特性分析
基于差极结构的绝对式直线时栅位移传感器研究及测量误差特性分析
Research on absolute linear time-grating displacement sensor with one-pole-difference structure and analysis of measurement error characteristics
- 光学精密工程 2022年30卷第6期 页码：667-677
DOI： 10.37188/OPE.20223006.0667
修回：2021-12-08
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