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金刚石刀轮滚压脆断单晶硅和蓝宝石的实验研究
微纳技术与精密机械 | 更新时间：2026-09-12
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    • 金刚石刀轮滚压脆断单晶硅和蓝宝石的实验研究

    • Experimental study on rolling and brittle fracture to single crystal silicon and sapphire by diamond cutter wheel

    • 陈绒 ，周聪 ，谢晋 ，陈钊杰
    • 光学精密工程 2022年30卷第6期 页码：702-710

    • DOI： 10.37188/OPE.20223006.0702     

      中图分类号：

    • 修回：2021-09-11 ，

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相关作者

陈绒
谢晋
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