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基于超小GRIN光纤镜头的MEMS光纤声传感器及性能测试方法
基于超小GRIN光纤镜头的MEMS光纤声传感器及性能测试方法
MEMS fiber optic acoustic sensor and performance testing method based on ultra-small GRIN fiber lens
- 光学精密工程 2022年30卷第12期 页码:1406-1417
DOI: 10.37188/OPE.20223012.1406
修回:2022-03-12
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相关机构
上海大学 精密机械系
陕西应用物理化学研究所 应用物理化学国家级重点实验室
西安交通大学 机械制造系统工程国家重点实验室
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中国科学院 研究生院


