基于锁相放大的集成电路内部电信号光学探测方法

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基于锁相放大的集成电路内部电信号光学探测方法

现代应用光学 | 更新时间：2026-09-12

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- 基于锁相放大的集成电路内部电信号光学探测方法
- Optical detection method of electrical signals inside integrated circuits based on lock-in amplifier
- 刘鹏程，马英起，韩建伟
- 光学精密工程 2022年30卷第18期页码：2178-2186
- 作者机构：
  1.中国科学院国家空间科学中心空间天气学国家重点实验室，北京 100190
  2.中国科学院大学天文与空间科学学院，北京 100049
- 作者简介：
  刘鹏程（1996-），男，山东菏泽人，博士研究生，2018年于山东师范大学获得学士学位，主要从事光与集成电路相互作用、电光探针技术方面的研究。E-mail： liupengcheng18@mails.ucas.ac.cn
  马英起（1983-），男，山东济南人，正高级工程师，博士生导师，2006年于山东大学获得学士学位，2011年于中国科学院大学获得博士学位，主要从事空间环境效应研究与应用、电路与电子系统设计等方面的研究。E-mail： myq@nssc.ac.cn
- 基金信息：
  中国科学院青年创新促进会研究奖励基金项目(2018179)
- DOI： 10.37188/OPE.20223018.2178
  中图分类号：
- 修回：2022-05-07 ，
- 稿件说明：
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