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电子束曲面直写的Monte Carlo仿真与实验
微纳技术与精密机械 | 更新时间：2026-09-12
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    • 电子束曲面直写的Monte Carlo仿真与实验

    • Monte Carlo simulation and experiments of electron beam direct writing on curved

    • 解孟涛 ，刘俊标 ，王鹏飞 ，张雨露 ，韩立
    • 光学精密工程 2022年30卷第18期 页码：2232-2240

    • DOI： 10.37188/OPE.20223018.2232     

      中图分类号：

    • 修回：2022-06-28 ，

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