多模态原子力显微镜的空气压膜阻尼效应

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多模态原子力显微镜的空气压膜阻尼效应

微纳技术与精密机械 | 更新时间：2026-09-12

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- 多模态原子力显微镜的空气压膜阻尼效应
- Effect of air squeeze film damping in multi-mode atomic force microscopy
- 赵阳，黄强先
- 光学精密工程 2022年30卷第19期页码：2362-2369
- 作者机构：
  1.安徽建筑大学电子与信息工程学院，安徽合肥 230601
  2.合肥工业大学仪器科学与光电工程学院，安徽合肥 230009
- 作者简介：
  赵阳（1981-），女，安徽霍邱人，副教授，2003、2006和2018年于合肥工业大学分别获得学士、硕士和博士学位，主要研究方向为纳米扫描探针技术及应用、微纳米测量技术等。E-mail： zhaoyang@ahjzu.edu.cn
  黄强先（1968-），男，教授，博士生导师，1990、1993和1998年于合肥工业大学分别获得学士、硕士和博士学位，主要研究方向为微纳米三维测量技术、纳米扫描探针技术研究及应用、仪器精度理论研究及应用等。E-mail： huangqx@hfut.edu.cn
- 基金信息：
  安徽省高校自然科学基金资助项目(KJ2019A0765);国家自然科学基金资助项目(50975075)
- DOI： 10.37188/OPE.20223019.2362
  中图分类号：
- 修回：2022-05-30 ，
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