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极紫外-真空紫外光学薄膜元件的研究进展
更新时间：2026-09-12
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    • 极紫外-真空紫外光学薄膜元件的研究进展

    • Research progress of multilayer optical elements in extreme ultraviolet and vacuum ultraviolet

    • 齐润泽 ，张锦龙 ，黄秋实 ，张众 ，王占山
    • 光学精密工程 2022年30卷第21期 页码：2639-2654

    • DOI： 10.37188/OPE.20223021.2639     

      中图分类号：

    • 修回：2022-08-17 ，

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中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所
西安工业大学 机电工程学院
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