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固结硅基聚集体金刚石磨料垫的研磨性能
固结硅基聚集体金刚石磨料垫的研磨性能
Lapping performance of fixed silicon-based agglomerated diamond abrasive pad
- 光学精密工程 2023年31卷第6期 页码:839-848
DOI: 10.37188/OPE.20233106.0839
修回:2022-09-28
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