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混频对全视场外差动态干涉仪测量精度的影响
现代应用光学 | 更新时间:2026-09-12
混频对全视场外差动态干涉仪测量精度的影响
Influence of frequency mixing on measurement accuracy of full-field heterodyne dynamic interferometer
- 光学精密工程 2023年31卷第9期 页码:1267-1276
DOI: 10.37188/OPE.20233109.1267
修回:2023-01-05
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杨宇琦
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