基于平行度误差补偿的多通道双晶单色器运动控制

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基于平行度误差补偿的多通道双晶单色器运动控制

微纳技术与精密机械 | 更新时间：2026-09-12

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- 基于平行度误差补偿的多通道双晶单色器运动控制
- Motion control of multi-channel double crystal monochromator based on parallelism error compensation
- 何思宇，鲁浩林，冯朝，肖晓晖
- 光学精密工程 2023年31卷第9期页码：1335-1346
- 作者机构：
  武汉大学动力与机械学院，湖北武汉 430072
- 作者简介：
  何思宇（1993-），男，湖北孝感人，博士研究生， 2016年于电子科技大学获得学士学位，2018年于武汉大学获得硕士学位，主要研究方向为电机运动控制策略。E-mail： syhewhu@whu.edu.cn
  肖晓晖（1969-），女，湖南益阳人，教授，博士生导师，1991年、1998 年于武汉大学分别获得学士、硕士学位，2005年于华中科技大学获得博士学位，主要研究方向为微/纳米机器人运动控制。E-mail： xhxiao@whu.edu.cn
- 基金信息：
  国家自然科学基金资助项目(51375349)
- DOI： 10.37188/OPE.20233109.1335
  中图分类号：
- 修回：2023-02-01 ，
- 稿件说明：
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