光刻胶掩膜材料超光滑表面切削

您当前的位置：

首页 >

文章列表页 >

光刻胶掩膜材料超光滑表面切削

微纳技术与精密机械 | 更新时间：2026-09-12

上一篇|下一篇

- 光刻胶掩膜材料超光滑表面切削
- Ultra-precision cutting of photoresist mask for ultra-smooth surface
- 李秋怡，周天丰，周佳，胡君剑，赵斌
- 光学精密工程 2023年31卷第13期页码：1909-1921
- 作者机构：
  1.北京理工大学机械与车辆学院，北京 100081
  2.北京理工大学重庆创新中心，重庆 401120
  3.江西联创电子有限公司，江西南昌 330000
- 作者简介：
  李秋怡（1998-），女，湖北襄阳人，硕士研究生，2020年于南京理工大学获得学士学位，主要研究方向为超精密加工。 E-mail：13770927796@163.com
  赵斌（1991-），男，山东德州人，博士，助理教授，硕士生导师，2018年于山东大学获得博士学位，主要研究方向为高性能陶瓷刀具、难加工材料切削加工。 E-mail：bin.zhao@bit.edu.cn
- 基金信息：
  国家自然科学基金面上项目(51875043);国家自然科学基金青年项目(52205441);重庆市自然科学基金面上项目(2022NSCQ-MSX3775)
- DOI： 10.37188/OPE.20233113.1909
  中图分类号：
- 修回：2023-02-23 ，
- 稿件说明：
移动端阅览
DOI：
DOI：

HTML全文
图( 37 ) 表( 3 )
参考文献
出版信息
数据统计

摘要

Abstract

关键词

Keywords

references

624

浏览量

1045

下载量

2

CSCD

文章被引用时，请邮件提醒。

提交

工具集

BibTeX下载
Endnote下载
RefMan 下载
NoteExpress下载
NoteFirst下载

关联资源

相关文章

用于InGaAs单光子探测器的微透镜阵列及表征

基于卷积神经网络判定方法的激光微透镜阵列微米级加工工艺

光纤阵列准直器设计及其发散角测量

微拱形阵列导光板快速热压成型与微光学应用

基于人造复眼的多谱成像系统

相关作者

苏文献

李雪

顾溢

马英杰

徐红艳

莫德锋

张晨阳

王振忠

相关机构

中国科学院上海技术物理研究所红外探测全国重点实验室

上海理工大学能源与动力工程学院

厦门大学九江研究院

厦门大学物理科学与技术学院

厦门大学航空航天学院

AI问答