亚纳米驱动分辨力的六自由度微动台

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微纳技术与精密机械 | 更新时间：2026-09-12

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- 亚纳米驱动分辨力的六自由度微动台
- Development of 6-DOF micro-driving stage with sub-nano driving resolution
- 黄强先，程保林，张弛斌，张帆，张连生
- 光学精密工程 2023年31卷第13期页码：1933-1940
- 作者机构：
  合肥工业大学仪器科学与光电工程学院测量理论与精密仪器安徽省重点实验室，安徽合肥 230009
- 作者简介：
  黄强先（1968-），男，山东青岛人，教授，博士生导师，1990年、1993年、1998年于合肥工业大学分别获得学士、硕士和博士学位，主要研究方向为微纳米三维测量技术、仪器精度理论等。E-mail：huangqx@hfut.edu.cn
  张连生（1986-），男，山东莘县人，副教授，硕士生导师，2015年于中国科学技术大学获得博士学位，主要从事微纳米测量技术与系统、压电精密驱动与应用的研究工作。E-mail： lszhang@hfut.edu.cn
- 基金信息：
  国家自然科学基金项目(51875163);国家重点研发计划项目(2019YFB2004901)
- DOI： 10.37188/OPE.20233113.1933
  中图分类号：
- 修回：2023-01-18 ，
- 稿件说明：
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